[工學] ICP 기기조사에 관해
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작성일 24-07-05 11:36
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ICP [ Inductively Coupled Plasma ]
1. 유도결합 플라즈마의 원리
유도결합플라즈마(ICP)의 원리는 주로 석영 등의 유전체 反應기 외부에 코일을 감아 전기장을 變化시키면 코일의 내부에 유도자장이 발생하게 되고 그에 따른 2차 유도전류가 反應기 내부에 형성되는 것을 이용하여 발생시키는 고밀도 플라즈마이다.레포트/공학기술
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유전체 反應기 외부에
코일을 감는다
▼
코일에 걸리는
전기장 變化( RF)
▼
내부에 유도 자장 및
2차 유도전류 발생
▼
反應기 내부에
고밀도 플라즈마 발생
2. 기존 ICP 방법의 problem(문제점)
기존의 ICP 장치는 유전체 창(석영, 알루미나) 외부에 ICP 안테나를 설치하여 고주파 전력을 간접 전달하는 방식을 사용하였는데 치명적인 단점은 이 창의 내부에 도전성 물질(금속, TiN 등)이 코팅되면 전혀 전력 전달이 되지 않아 플라즈마를 유지할 수 없다는 단점이 있따 따라서 현재 일부 개발된 장비들도 유전체 박막 등 제한적으로만 응용이 시도되고 있따 또한 내부의 유전성 물질을 계속적으로 크리닝해 주어야 하는 유지보수의 문제와 대면…(To be continued )설명
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